But
Analyse élémentaire à échelle microscopique (le spectromètre est monté sur un microscope électronique)
Exemples d’application
- Analyse de résidus, composition de phases, de couches minces, etc.
- Cartographie élémentaire
Possibilités et restrictions
- Détecte les éléments du bore à l’uranium Résolution spatiale de l’ordre du µm
- Quantification possible sous certaines conditions
Equipements
- Spectromètre SDD
