Analyse de composition chimique par EDS (spectroscopie des rayons X par dispersion d’énergie)

groupe de compétences
Ingénierie des surfaces

But

Analyse élémentaire à échelle microscopique (le spectromètre est monté sur un microscope électronique)

Exemples d’application

  • Analyse de résidus, composition de phases, de couches minces, etc.
  • Cartographie élémentaire

Possibilités et restrictions

  • Détecte les éléments du bore à l’uranium Résolution spatiale de l’ordre du µm
  • Quantification possible sous certaines conditions

Equipements

  • Si-Li et SDD
  • Logiciels d’analyse S.

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