Ellipsomètre spectroscopique

groupe de compétences
Ingénierie des surfaces

But

Détermination de l’épaisseur de couches nanométriques transparentes et d’indices optiques (indice de réfraction, coefficient d’absorption)

Exemples d’application

Analyse des revêtements optiques (antireflets)

Possibilités et restrictions

  • Revêtements transparents ou semi-transparents sur un substrat plan, poli miroir (verre, saphir, Si)
  • Epaisseur maximale du revêtement: 1 micron

Equipements

Ellipsomètre spectroscopique (240-1000 nm) Sentech SENresearch.

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