Microscopie électronique à balayage (MEB)

groupe de compétences
Ingénierie des surfaces

But

Imagerie de surfaces à haute résolution spatiale avec contraste topographique et/ou chimique

Exemples d’application

Imagerie structurale, de défauts, état de surface, corrosion, etc.

Possibilités et restrictions

  • Possibilité de coupler avec la microanalyse EDS
  • Résolution spatiale jusqu’à quelques nm
  • Analyse non destructive de surfaces solides ou sur coupe métallograhique
  • L’échantillon doit être conducteur ou doit pouvoir être rendu conducteur par déposition d’une très mince couche métallique
  • Dimension max. de l’échantillon: jusqu’à quelques cm.

Equipements

JEOL JSM-6400 et JEOL JSM-65.

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