But
Cartographie 3D de surfaces des matériaux solides (aussi surfaces transparentes)
Exemples d’application
Métrologie des surfaces (analyse de rugosité, ondulation, forme, épaisseur de couche transparente, de motifs, fonctionnelle, de volume, etc.)
Possibilités et restrictions
- Résolution en Z jusqu’à 1nm
- La géométrie de l’échantillon doit permettre l’approche de l’objectif du microscope
Equipements
Leica DCM 3D et logiciel d’analyse 3D Mountains.
